工業生產排放的廢氣，常對環境和人體健康產生有害影響，在排入大氣前應采取凈化措施處理，使之符合廢 氣排放標準的要求，這一過程稱為廢氣凈化。常用的廢氣凈化方法有：吸收法，吸附法，冷凝法和燃燒法四種。

工業粉塵通常指含塵的工業廢氣或產生于固體物料加工過程中的粉碎、篩分、輸送、爆破等機械過程，或產生于燃燒、高溫熔融和化學反應等過程。中國建筑科學研究院環境測控優化研究中心根據多年來粉塵治理的工程經驗得出前者粉塵含有粒度大、化學成分與原固體物質相同的粉塵，而后者含有粒度小、化學性質與生成它的物質有別的煙塵，通過改進生產工藝和燃燒技術可以減少顆粒物的產生。

電子廠來料加工工序中就會產生粉塵和廢氣，如何治理這兩個問題就需要用到旋風除塵器、脈沖布袋除塵器、水浴噴淋除塵器、靜電除塵器、干式過濾+活性炭吸附、低溫等離子、低溫催化燃燒等設備。